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半導(dǎo)體制造曝光工序中不可或缺的PD系列異物檢查設(shè)備

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新產(chǎn)品“PD Xpadion EX”以流行的傳統(tǒng)型號(hào)“PD Xpadion”為基礎(chǔ)，

配備了異物清除功能，可以用一臺(tái)設(shè)備完成從檢測(cè)到清除的所有操作。

此外，我們還開發(fā)了一種支持自動(dòng)掩模版/掩模傳輸?shù)膬?nèi)部裝置，

有助于提高半導(dǎo)體制造工藝的效率和產(chǎn)量。

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產(chǎn)品特點(diǎn)

1.通過集成異物檢測(cè)和清除流程提高工作效率和產(chǎn)量

本公司異物去除率超過95% *2的標(biāo)線/掩模自動(dòng)異物去除裝置“RP-1”的功能與“PD Xpadion”集成。

這使得自動(dòng)檢測(cè)和清除異物成為可能。

它還配備了一個(gè)多端口，允許同時(shí)設(shè)置兩個(gè)裝有標(biāo)線/掩模的盒子，從而可以連續(xù)檢測(cè)和清除異物。

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2.通過與自動(dòng)輸送設(shè)備聯(lián)動(dòng)，促進(jìn)制造過程的自動(dòng)化和節(jié)省勞動(dòng)力

半導(dǎo)體制造工廠中，為了與 OHT（Overhead Hoist Transport：一種自動(dòng)輸送裝置，將輸送的物體保持在懸浮狀態(tài)，并在安裝在天花板上的軌道上運(yùn)行）進(jìn)行協(xié)調(diào)，需要 EFEM（設(shè)備前端模塊）。

我們開發(fā)了我們的 EFEM（設(shè)備前端模塊）。自己的單元（在 OHT 和異物檢查設(shè)備之間傳輸掩模版/掩模）。

我們靈活地響應(yīng)客戶的規(guī)格，為自動(dòng)化和節(jié)省勞動(dòng)力做出貢獻(xiàn)，這對(duì)于提高生產(chǎn)率、消除勞動(dòng)力短缺和簡(jiǎn)化制造領(lǐng)域非常重要。

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