?HORIBA 質(zhì)量流量控制器SEC-Z500X系列

數(shù)字質(zhì)量流量計(jì)。

尖端工藝所需的功能都集成到這臺(tái)機(jī)器中，

包括多量程/多氣體功能，允許您自行更改氣體類型和滿量程流量，

由于壓電陶瓷，精度可達(dá) ±1.0 SP閥門、高速響應(yīng)、全金屬兼容性。

多量程/多氣體兼容

客戶

可以自行更改質(zhì)量流量計(jì)的規(guī)格。

從微流量（5SCCM FS）到大流量（200SLM FS）的全系列

保證高精度

±1.0% SP（設(shè)定點(diǎn)）。

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配備1秒內(nèi)高速響應(yīng)全范圍（T98）變量PID。

尺寸緊湊，

面間距106mm（50SLM以下，1/4VCR型），兼容1.125英寸燃?xì)饷姘濉?/p>

采用超潔凈兼容

氣體接觸部分，全不銹鋼結(jié)構(gòu)，標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)部拋光處理。