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X射線顯微鏡與電子顯微鏡的區(qū)別

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X射線顯微鏡

1.X射線顯微鏡與電子顯微鏡的區(qū)別

X 射線顯微鏡使用 X 射線作為光源,而電子顯微鏡則通過(guò)用電子束照射樣品來(lái)放大圖像。電子束是快速的電子流。原子由質(zhì)子和中子組成的原子核以及圍繞它運(yùn)行的電子組成。當(dāng)質(zhì)子、中子和電子被稱為加速器的裝置加速到非常高的速度時(shí),它們就會(huì)變成質(zhì)子束、中子束和電子束等輻射。

與X射線不同,電子束是粒子束,因此其穿透能力有限。電子束的穿透力由加速電壓決定,加速電壓越高,電子到達(dá)的深度越深,被照射物體的密度越低,電子穿透的深度也越深。

透射電子顯微鏡(TEM)
將電子束施加到薄膜樣品上,電子束穿過(guò)樣品,穿過(guò)電子透鏡,在電子束照射的熒光屏上形成放大的圖像。電子透鏡通過(guò)電場(chǎng)或磁場(chǎng)使電子束彎曲以形成圖像。

掃描電子顯微鏡(SEM)
在真空中將電子束縮小并照射以掃描樣品的表面,檢測(cè)從樣品發(fā)射的二次電子和背向散射電子。二次電子是通過(guò)照射電子束從樣品中噴射出的電子,背散射電子是從樣品表面反射的照射電子。

通過(guò)在掃描電子顯微鏡上安裝X射線檢測(cè)器,還可以將其用作?X射線分析裝置,以研究樣品中所含元素的種類(lèi)和含量。

2. 掃描X射線顯微鏡

一種使用硬 X 射線作為探頭的 X 射線顯微鏡。硬X射線的波長(zhǎng)較短,約為0.1 nm,原則上可以實(shí)現(xiàn)高分辨率。此外,與材料的相互作用是多種多樣的,包括透射(吸收)、折射和反射,以及光電子、熒光X射線、彈性散射、非彈性散射和磁吸收/散射。

此外,由于其高滲透性,可以進(jìn)行無(wú)損觀察,也可用于大氣中的測(cè)量。掃描X射線顯微鏡由聚焦X射線、掃描樣品的載物臺(tái)和檢測(cè)器組成,在進(jìn)行X射線分析(透射X射線、熒光X射線、散射X射線等)的同時(shí)進(jìn)行X射線分析。掃描樣本,可視化各種信息。

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